2020年05月20日出版  总第 1284 

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】  第
807 期 2002-06-30
本我校与摩托罗拉在高介电材料研究中取得重大进展
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本报讯 6月25日,摩托罗拉总公司副总裁半导体产品部首席科学家路易斯・帕瑞罗博士在北京摩托罗拉公司北亚总部主持新闻发布会,宣布该公司与南京大学和中科院物理所合作共同揭示了两种薄膜材料铝酸镧(LAO)和镧铝氧氮(LAON)作为下一代金属氧化物半导体场效应管器件栅介质材料的优异性能。这类材料可望使半导体器件特征尺寸缩小到65纳米以下时继续遵从“摩尔定律”,从而生产出更小,更快的芯片。“863”专家委员会咨询专家、我校刘治国教授参加了新闻发布会。
帕瑞罗博士同时指出:“这种成功的伙伴关系使中国顶级学术研究单位的创造性,专长和探索方法与摩托罗拉的尖端技术和对市场的洞察力结合在一起,得以对那些具有巨大潜在市场影响的技术进行快速评鉴”,“这是一个极好的将大学和研究所的专长与工业界的经验融合在一起,对工业界难题潜在的解决方案进行评鉴的例子。”
我校合作项目组组长刘治国教授指出:“与摩托罗拉的合作不但使我们的研究与工业界的实际需求结合在一起,也使我们的科研项目有了一种先进的管理模式,多年来我们与摩托罗拉的合作关系也促进了我们的其他研究项目向应用的转化,我们很高兴彼此合作取得的成果对半导体工业有这么大的潜在影响,也希望这将对我国微电子工业的振兴作出一定的贡献。”
半导体工业中至今使用的栅电介质材料为二氧化硅,随着半导体超大规模集成电路加工工艺的不断升级,器件的尺寸愈来愈小,二氧化硅介质层的厚度也必须相应减小,特征尺寸为65纳米的下一代技术要求二氧化硅介质层的厚度小于2纳米。但是这么薄的二氧化硅层中将产生很高的隧穿电流,从而使二氧化硅无法承担这一使命,用高介电材料来取代二氧化硅介质层已经成为必然的趋势。四年前双方开始的合作,现已结出丰硕成果,双方在现有“双赢”的基础上正期待着在今后的合作中取得更大成果 
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